- 品牌：蔡司
- 型号：AXIO IMAGER VARIO
- 样品高度：0-254mm（反射光照明无载物台）；0-112mm（反射光照明，带载物台）；0-88mm（透射光照明，带载物台）
- 物镜转盘电动聚焦高度：5mm
- 目镜视场数：23或25
- 物镜：1.25x,2.5x,5x,10x,20x,50x,100x,150
- 电动扫描台行程：可选200mm*200mm,300mm*300mm
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 AXIO IMAGER VARIO半导体专用显微镜
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